低温等离子体与高温等离子体

等离子体是物质的第四态，但也有温度区别，低温等离子体是指降低温度下的等离子体混合物，且不会对接触的物质造成损伤，高温等离子体则相反，是被加热源加热到一定程度的高温等离子体混合物，可对被接触的物体形成高温损伤，低温等离子体常被运用于表面处理工艺，活化物体表面，提升附着力，而高温等离子体则被用于产品切割等。高温等离子体是一个比较广泛的概念，它的概念是：在高达1000℃以上的高温下，气体、液体、固体和某些有机物质被加热到400℃时，这些物质都可成为被加热的等离子体。如果温度再升高到1000℃，气体就会被气化，液体也会在高温下蒸发。目前，国内外工业上使用的高温等离子体是指在350~800℃下的等离子体。但在此温度范围内，材料将会被熔化（包括液态金属），如果温度再进一步升高就会发生熔融状态的物质升华，不能再称为高温等离子体。

在科学研究上有高温等离子体和低温等离子体之分。低温等离子体通常是指低于500℃的等离子体（在此温度范围内材料不会熔化）或低于200℃的等离子体。它们不是气体而是物质（主要是气体）被加热到一定程度后所产生的一种特殊状态。低温等离子体没有明显的密度峰值，它是气体分子无规则运动所造成的能量释放现象（这是它与高温等离子体最大的区别）。由于低温等离子体不含电子和正离子，所以它们几乎不能与其他物质相互作用。低温等离子体包括固态、液态和气态三种物质状态。低温等离子体产生的前提条件是：放电设备中要有足够大的电流或能量、放电设备要有良好的密封性能和气体纯度（包括惰性气体纯度）以及合理可行的结构设计。

在一般工业上，我们用直流高压电源产生不同电位（3000~4000V）、不同气压（1~2 kPa）、不同温度（100~500℃）三种电位（电压值）不同、电晕放电时所产生的等离子体温度值）相差很大的放电现象。高压直流电源和高频高压电源这两种高压电源中都可产生多种电位和气压形式（包括正弦、三角形、方形、圆形和其它形状）的等离子体，其等离子体温度变化范围很大，从几十到几千度均可达到。这种高压直流电源和高频高压电源一般称为直流高压电源或高频高压电源。其中高压直流电源适用于要求放电电压高而放电功率低的应用场合；而高频高压电源则适用于要求放电电压低而放电功率高的应用场合。